碳化硅陶瓷是近年发展的新材料。它具有很低的摩擦因数，很高的硬度，良好的耐磨性。它具有良好的化学稳定性、耐热性和抗热振性。耐腐蚀泵的机械密封常用材料。
碳化硅有反应烧结碳化硅、常压烧结碳化硅和热压碳化硅。
国产碳化硅的性能
 
性能 反应烧结碳化硅 热压碳化硅   
密度/gNaN-3
孔隙率/%
抗弯强度/MPa
抗压强度/MPa
抗拉强度/MPa
抗冲击强度/MPa
弹性模量/MPa
摩擦因数
硬度(HRA)
热膨胀系数/℃-1
热导率/W·(m·K)-1
电阻率(200℃)/Ω·cm
(700℃)/Ω·cm 2.5～2.6
13～16
196.13
1176.8
117.68～137.29
0.15～0.2
(1.670～2.16)×105
0.1
80～85
2.5×10-6
5.02
1018
108 3.13
<1
688.47～784.52
1569.1
-
0.39
-
-
91～92
(2.7～2.8)×10-6
 
硬质合金。硬质合金主要是碳化钨WC，分别有钴基碳化钨WC-Co、镍基碳化钨WC-Ni和钴-镍基碳化钨WC-Co-Ni。碳化钨的特点：硬度高，耐磨性好；机械强度高，抗弯性好；导热率较高而膨胀系数较小，密封面摩擦热容易导出；无钴硬质合金耐腐蚀性较好。在耐腐蚀泵领域基本上都是碳化硅的机械密封，抗腐蚀性比较。
 
机械密封
材料 密度/gNaN-3 抗弯强度/MPa 弹性模量/MPa 热膨胀系数/℃-1 硬度(HRA) 热导率/W·(m·K)-1   
热压SiC 3.1～3.2 441.3～539.37 3.92×105 4.5×10-6 93～94 83.74   
常压烧结SiC 3.0～3.10 372.65～451.11 4.07×105 4.3×10-6 91～92 92.11   
反应烧结SiC 3.05 343.23～362.85 3.33×105 4.3×10-6 91～92 125.6  
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