超声波影像装置FineSAT是使用超声波非破坏获得半导体封装、电子零部件、陶瓷、金属树脂零部件等的内部孔隙、裂纹、剥离等缺陷影像的装置。X射线装置、红外线检查装置、光学显微镜检查不出来的纳米级缝隙也能检测出来。
FineSAT Ⅲ是FineSAT的第三代，在将高评价的分辨率等基本功能提升至最高水准的同时，还充实了包括高速自动测量、透射・反射同时测量、自动判断缺陷功能等各种分析软件。而且，还提高了使用便捷性（如探伤数据批量保存等），可适用于从产线中的大量检查到研究、开发等广泛用途。
特点
开口部大，提高安全性
还标准装备防止机械、电气事故的机构，如在开口部（开口部扩大，方便样品进出）设置防止误操作的区域传感器等。
细致应对作业需要
搭载容易固定小样品的磁板、日常检查不可或缺的标准试验片等装备。除此之外，在软件方面，也针对以丰富帮助功能等为代表的增强日常操作性进行了极其细微的应对。
追求使用便捷性和安全性
为了更容易使用、更安全地作业，对细节进行了精心考虑，如两侧的大型窗口、LED照明、电源开关的保护盖、前面的透明板可安装拆卸等。
功能
种类丰富的探头
用于反射法时，从低频到高频，从短焦距到长焦距，适合测定对象和测定条件的探头丰富齐全，除此之外，透射法探头也一应俱全，可找到合适客户的测定对象的探头。 我们还可帮助您选定合适的探头。
进一步发展的FineSAT Ⅲ的解析软件
FineSATⅢ进一步发展了波形解析、测量、剥离判定、深度信息等解析软件。
可以实时比较±相位、绝对强度和深度数据。另外，在波形重叠显示时，即使是不同的时间轴，也可以自动调整时间轴并保存。 另外，通过独有的像素间插值处理和自动对比度等方法，可以毫不费力地得到更易看懂的数据。
在多闸门功能方面，最多可设定64个栅场，标准配备了批量保存各闸门内数据和测定条件及在1个文件中保存图像数据的功能。
另外，还标准配备了导入所有点的波形、离线变更闸门位置、重新描绘影像的功能。如果有可进行FFT解析和差分成像处理的容量扫描功能(选购件)，追加3D查看器软件(选购件)后，可构筑更加立体的超声波影像数据，强力地支持内部的结构分析。
可同时显示反射强度和深度的配置，进行复合评价。
可实时对±相位、绝对强度、深度、极性强调进行比较解析。
3D浏览器软件(选购件)
可通过3D恢复形状、使之可视化，使之在水平、垂直方向同时进行360°旋转，在任意视角观察，在任意位置显示截面。
规格
| FS100Ⅲ | FS200Ⅲ | FS300Ⅲ | |
| 支持探头频率(MHz)* | 5～75 | 5～140 | 5～300 |
| 有效扫描范围（mm） | 350×350** | ||
| 探头高度行程(mm) | 80 | ||
| 最小扫描间距(µm) | 0.5 | ||
| 最大扫描速度(mm/s) | 1,000 | ||
| 外形尺寸(mm) | 1,590×1,340×940 | ||
| 质量(kg) | 約380 | ||
| 电源规格*** | AC100V/15A 50/60Hz | ||
还备有英文版软件。
尺寸图
