水汽深冷捕集泵
COOL2000H
COOL3000H
COOL4000H
在真空腔体内，水汽分子是最典型的环境污染气体，占腔内残余气体 65% 到 95% ，当真空度达到 10-2Pa时，水汽分子用平常真空泵难排出腔体，是典型的最具副作用的污染气体，是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响。为了快速的达到较高的真空度，COOL系列水汽深冷泵快速捕集和吸附真空腔内的水汽，辅助抽真空，在极短的时间达到需求的真空度
COOL系列水汽深冷捕集泵工作原理将一个冷阱盘管或挡板，放置在真空室内的腔壁上或油扩散泵的泵口，通过制冷盘管表面，实现低温冷凝效应，迅速捕集集真空泵统的水汽分子或其它残余气体分子，从而获得洁净的真空环境，提高产品的产量和质量，改善镀膜的品质，提高薄膜的附着力和多层镀膜能力。
COOL系列水汽深冷捕集泵有单级和双级的配置，双级制冷可单独控制每一路的制冷，两路冷阱盘管或挡板都能被快速除霜。
特点
最大水汽抽速366000L/s
快速捕集水汽、油蒸汽；抽真空时间最多可缩短75%
温度可达到-120℃至-150℃
产品吞吐量的20%上升到100%
在成本/性能上优于液氮制冷
制冷量最大可达4000W
环保型混合冷媒满足所有适用地区的环境要求（京都国际协议）。
自动化控制，支持远程通讯
高清触摸屏，方便操作的面板控制
双级制冷回路配置
应用
替代液氮的经济性选择
在光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统，可以用于真空室内抽吸水汽，以获得更好的薄膜质量
用于冷阱等冷却装置防止扩散泵返油
化学工程，液化工艺气体
系统
除了COOL设备单元外，还提供以下关键组件，如有需要，可以按照您的规格制造:
冷阱盘管和挡板
冷阱盘管一般安装在真空腔室内，或高阀与真空室之间，适用于镀膜材料放气量较大的场合．冷阱盘管同时具有除霜功能，使冷阱盘管在每次开门之前恢复到常温，有利于下次抽真空。
冷阱挡板一般安装在扩散泵上方，主要功能是防止油扩散泵的油气返流，同时也可以抽除水汽，提高真空度。
馈通件
（可单独提供或作为冷阱盘管的一部分）
双通道在保持给入管和返回管之间的热隔离的同时，提供了进入真空腔的法兰。在外部，管接头与制冷剂管路可直接连接。在腔室侧，馈通和内部冷阱管道焊接在一起。
制冷剂管
“制冷剂管”包括一条给入管和一条返回管，该管带有不锈钢管接头（Parker或VCR），可与COOL System和馈通件配合使用。制冷剂管采用泡沫型保温层绝热保护，防止暴露在户外空气中，以减少热量损失。
水汽压强表
有效地捕捉水蒸气的最佳温度是多少?
要找到最适合您的真空系统的低温表面温度，请找到下面列出的系统的最终基本压力。然后继续到显示所需低温表面温度的右栏。这个温度表示90%的水蒸气捕获效率。
