上海伯东是美国考夫曼博士创立的考夫曼公司 KRI 考夫曼离子源中国总代理.
 

某光学镜片制造商为了使光学镜片的抛光刻蚀速率更快更准确, 抛光后的基材上获得更平坦, 获得均匀性更高的薄膜表面, 而采用伯东 KRI 考夫曼离子源 KDC 10 用于 IBF 离子束抛光工艺.

 

KRI 离子源 KDC 10 客户实际安装图如下：

客户基材: 100 mm 光学镜片

离子源条件: Vb: 800 V ( 离子束电压 ), Ib: 84 mA ( 离子束电流 ) , Va: -160 V ( 离子束加速电压 ), Ar gas ( 氩气 ).

 

伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 技术参数：

Discharge: DC 热离子

离子束流: >10 mA

离子动能:100-1200 V

栅极直径:1 cm Φ

离子束:聚焦, 平行, 散射

流量:1-5 sccm

通气:Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, -

典型压力:< 0.5m Torr

长度:11.5 cm

直径:4 cm

中和器:灯丝

 

KRI 离子源 KDC 10 客户使用结果:

离子束抛光前平坦度影像呈现图

离子束抛光后平坦度影像呈现图

 

伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国HVA 真空阀门, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.

 

 

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:

上海伯东: 罗先生                               -伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

伯东版权所有, 翻拷必究！