产品描述

上海伯东德国 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 拥有强大的抽空能力, 对氦气抽速最高可达 25 l/s. 极短的测试时间, 较短的响应时间 < 1 s.

检漏仪 ASM 390, ASM 392 最小检漏漏率: 

    真空模式: 1X10^-12 mbar l/s
    吸-式: 1X10^-8 mbar l/s

检漏仪 ASM 390, ASM 392 配有干式非接触式前级真空泵和涡轮分子泵, 其中检漏仪 ASM 392 内置 2 台涡轮分子泵, 可以加速泄漏检测流程, 降低生产设备的停机时间.

检漏仪 ASM 390, ASM 392 是针对大型检漏部件设计研发.

伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 产品优势：

移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 优势:

1. 强大的抽空能力
2. 极短的测试时间
3. 大型彩色触摸屏, 无需任何工具即可完全旋转和拆卸
4. 符合人体工学设计, 移动性强
5. 完全符合 Semi S2 标准

 

伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 技术参数：

伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 应用领域：

移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 应用领域:

可用于半导体和平板显示器行业以及-要求极高的应用