Hugetall 玻氏压头
纳米压痕测试技术作为一种测量薄膜材料力学性能的方法，以其高度的位移分辨率、超低载荷及连续测量能力也倍受青睐。Berkovich压头的纳米压痕测试过程，通过对有限元计算数据的处理，对比分析不同压头下测试出的材料硬度值和载荷一位移曲线，从而得到测量结果。
硬度是评价材料力学性能的一-个重要强度指标，已有近百年的历史5。从其变形机理.上可定义为“抵抗材料变形，塑性变形和破坏的能力”或“材料抵抗残余变形和破坏的能力”。在测量固体材料的硬度时，总是将一定形状 和尺寸的较硬物体即压头以一定的压力接触被测材料表面。硬度测量，不仅与材料的弹性模量，屈服强度，抗拉强度等力学性能有关，而且还与测量仪器本身的测量条件有密切关系，所以硬度本身并不是一个物理量，而是材料局部区域力学性能在特定条件下的整体表现。它是材料对外界物体机械作用的局部抵抗能力的--种表现，反映了固体物质凝聚或结合强弱的程度。作为材料重要的机械性能指标，硬度在材料应用，材料分析与研究领域中经常被考虑，要想获得材料的硬度指标，必须经过硬度试验进行测定，硬度测试方法不同，硬度测量值不一样，并且一般不能进行直接比较。、
纳米压痕技术测量得最多的材料力学性能是硬度和弹性模量，采集完整的加载卸载数据后进行分析，得出压头与被测材料的接触面积，就可以测得弹性模量与硬度。常用的压头为以下几种：
