台达变频器
台达变频器，故障现象是变频器输出端打火，拆开检查后发现IGBT逆变模块击穿，驱动电路印制电路板严重损坏。正确的解决办法是先将损坏IGBT逆变模块拆下，拆的时候主要应尽量保护好印制电路板不受人为二次损坏，将驱动电路上损坏的电子元器件逐一更换，将印制电路板上开路的线路用导线连起来（这里要注意要将烧毁的部分刮干净，以防再次打火）。在六路驱动电路阻值相同、电压相同的情况下使用示波器测量波形，但变频器一开就报OCC 故障（台达变频器无IGBT逆变模块，开机会报警）使用灯泡将模块的P1 和印制板连起来，-的用导线连，再次起动还报OCC，确定为驱动电路还有问题；逐一更换光耦合器，后发现该驱动电路的光耦合器带检测功能，其中一路光耦合器检测功能损坏，更换新的后，起动正常。

MKS 649A MFC Mass Flow Controller He 50SCCM 649A-16160


BROOKS PRESSURE ConTROLLER 5866RT He 300SCCM MOD: 5866R


Brooks 6256S Mass Flow Controller MFC 500SCCM SiH4


Brooks 6256S Mass Flow Controller MFC 500SCCM Ar


Brooks 6256S Mass Flow Controller MFC 500SCCM SILANTE


Brooks DELTA CLASS SLA7950S MFC 1SLPM NF3


Brooks DELTA CLASS SLA7950S MFC 3SLPM N2


Brooks DELTA CLASS SLA7950S MFC 200SCCM WF6


Brooks 6256S Mass Flow Controller MFC 10SCCM WF6


Brooks 6256S Mass Flow Controller MFC 500SCCM NF3


Brooks DELTA CLASS SLA7950S MFC 2SLPM H2


Brooks DELTA CLASS SLA7950S MFC 3SLPM Ar